使用

www.澳门金沙6088.com

2016-06-28

文件大小:26.5KB

下载

www.澳门金沙6088.com

什么是光刻胶

光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分构成的对光敏感的混淆液体。感光树脂经光照后,在暴光区能很快地发作光固化反响,使得这类质料的物理性能,特别是溶解性、亲合性等发作较着变革。经恰当的溶剂处置,溶去可溶性部门,获得所需图象。光刻胶普遍用于印刷电路和集成电路的制造以及印刷制版等历程。光刻胶的手艺庞大,种类较多。按照其化学反应机理和显影道理,可分负性胶和正性胶两类。光照后构成不可溶物资的是负性胶;反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物资的即为正性胶。基于感光树脂的化学构造,光刻胶能够分为三品种型。①光聚合型,接纳烯类单体,在光感化下生成自由基,自由基再进一步激发单体聚合,最初天生聚合物,具有构成正像的特性。②光合成型,接纳含有叠氮醌类化合物的质料,经光照后,会发生光合成反响,由油溶性变为水溶性,能够制成正性胶。③光交联型,接纳聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏质料,在光的感化下,其份子中的双键被翻开,并使链与链之间发作交联,构成一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀感化,这是一种典范的负性光刻胶。

 

二、光刻胶的次要技术参数 

a、分辨率(resolution)。区分硅片外表相邻图形特性的才能。普通用枢纽尺寸(CD,Critical Dimension)来权衡分辨率。构成的枢纽尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。

b、对比度(Contrast)。指光刻胶从暴光区到非暴光区过渡的陡度。对比度越好,构成图形的侧壁越峻峭,分辨率越好。

c、敏感度(Sensitivity)。光刻胶上发生一个优良的图形所需必然波长光的最小能量值(或最小暴光量)。单元:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻胶的敏感性关于波长更短的深紫外光(DUV)、极深紫外光(EUV)等尤其主要。

d、粘滞性/黏度 (Viscosity)。权衡光刻胶流动特性的参数。粘滞性跟着光刻胶中的溶剂的削减而增长;高的粘滞性会发生厚的光刻胶;越小的粘滞性,就有越平均的光 刻胶厚度。光刻胶的比重(SG,Specific Gravity)是权衡光刻胶的密度的目标。它与光刻胶中的固体含量有关。较大的比重意味着光刻胶中含有更多的固体,粘滞性更高、流动性更差。粘度的单 位:泊(poise),光刻胶普通用厘泊(cps,厘泊为1%泊)来襟怀。百分泊即厘泊为绝对粘滞率;运动粘滞率界说为:运动粘滞率=绝对粘滞率/比重。 单元:百分斯托克斯(cs)=cps/SG。

e、粘附性(Adherence)。表征光刻胶粘着于衬底的强度。光刻胶的粘附性不敷会招致硅片外表的图形变形。光刻胶的粘附性必需禁受住后续工艺(刻蚀、离子注入等)。

f、抗蚀性(Anti-etching)。光刻胶必需连结它的粘附性,在后续的刻蚀工序中庇护衬底外表。耐热稳定性、抗刻蚀才能和抗离子轰击才能。

g、外表(Surface Tension)。液体中将外表份子拉向液体主体内的份子间吸引力。光刻胶该当具有比较小的,使光刻胶具有优良的流动性和笼盖。

h、存储和传送(Storage and Transmission)。能量(光和热)能够激活光刻胶。该当存储在密闭、高温、不透光的盒中。同时必需划定光刻胶的闲置限期和存贮温度情况。一旦超越存储工夫或较高的温度范畴,负胶会发作交联,正胶会发作感光提早。

 

  • 光刻胶的使用

模仿半导体(Analog Semiconductors)

发光二极管(Light-Emitting Diodes LEDs)

(Microelectromechanical Systems MEMS)

太阳能光伏(Solar Photovoltaics PV)

微流道和(Microfluidics & Biochips)

光电子器件/器件(Optoelectronics/Photonics)

封装(Packaging)

 

  • 乳酸乙酯在光刻胶中的使用

   1、做光刻胶的溶剂,次要是替代PMA、PM.

www.澳门金沙6088.comwww.澳门金沙6088.com

www.澳门金沙6088.com

 

   2、做光刻胶的洗濯液,替代NMP.

光刻胶在IC行业的使用,只如果有集成电路,它就会有光刻胶。另外,利用光刻胶的历程中,它有个洗濯过剩光刻胶的历程,这个洗濯的历程,是用光刻胶蚀刻当前,用水和碱溶液洗濯,可是在水和碱溶液洗濯之前,有个中央的过渡历程,从前是用NMP来洗濯,可是因为NMP有毒性,近来换成乳酸酯来洗濯。这是在集成电路中的使用。以是普通供给光刻胶,也会供给洗濯液。以是做光刻胶和做光刻胶的洗濯液用乳酸酯来替换是一个产物的组合。

 

    除集成电路之外,还有一个显示器行业,LCD行业,次要是往两块玻璃板中央灌液晶,然后利用封装胶封装。封装事后需求切边,洗濯,它也需求用乳酸酯来洗濯,从前用NMP,如今用乳酸酯替换。它的的次要益处一样是NMP有毒,对情况有净化。乳酸酯是对人体无毒的,对情况有害的。

 

   固然乳酸酯的本钱可能会高点,可是乳酸酯加上洗濯收受接管工艺,根本经由过程收受接管液精馏能收受接管90%阁下,弥补洗濯消耗的10%,精馏和纯化的历程只需求$0.5/kg阁下的本钱,全部收受接管下来它是合算的。如许供给给洗濯厂有一个价钱,拿返来收受接管,从头蒸发,既处理了客户的环保成绩,又低落了生产成本,持久轮回操纵,是一个非常好的计划。

  

金沙澳门官方